只有测得准，才能造得精。随着集成电路制造向先进节点演进，芯片上的结构越来越小，若把集成电路制造比作在晶圆上盖“纳米摩天大楼”，那用于校准量检测设备的晶圆级标准物质就是盖大楼的“标尺”，是提升集成电路量检测设备测量能力、构建产业计量技术体系的重要基础。传统几何量标准物质多基于小尺寸衬底加工，更适用于实验室场景，难以满足集成电路自动化快速检测需求，因此产业亟需高质量、自主可控的晶圆级标准物质。

在此背景下，以同济大学为主体，联合张江实验室筹建的国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）（以下简称“计量测试中心”）围绕集成电路制造中的典型结构与缺陷，重点突破了3项标准物质（八英寸晶圆级100 nm一维光栅标准物质、八英寸晶圆级200 nm二维栅格标准物质、八英寸晶圆级100 nm凹陷缺陷标准物质）的研制与应用研究。

为规范、有序配合国家标准物质定级鉴定工作，计量测试中心完成了3项标准物质候选物的精细化制备、均匀性检验与稳定性检验工作，并按程序向上海市市场监督管理局提交了定级鉴定申报材料。上海市市场监督管理局对申报材料的完整性、规范性等要素进行了核查，并在此基础上组织相关领域专家开展现场评审工作。在2025年12月11日召开的国家二级标准物质定级鉴定评审会议中，专家组对标准物质的制造设备、定值设备进行实地考察，并围绕制备流程、定值方法、不确定度评定等关键内容开展逐项质询。最终经专家组综合评审，计量测试中心研制的3项晶圆级标准物质符合国家二级标准物质定级鉴定要求，一致通过评审。

新获批的3项国家标准物质可为CD-SEM、AFM、缺陷检测设备等集成电路量检测设备提供可靠的量值标准，有效支撑纳米尺度下线宽测量、角度测量及典型缺陷检测等应用需求，对支撑我国集成电路微纳检测设备的计量测试能力、完善芯片产业计量技术体系具有重要意义。未来，计量测试中心将持续围绕先进工艺节点需求，聚焦多类型、多尺度的晶圆级标准物质的研发与应用，努力为我国集成电路产业高质量发展提供更加坚实的计量技术支撑。