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【上观新闻】计量纳米,精确到皮米(1000皮米=1纳米)

来源:上观新闻   时间:2026-07-10  浏览:

2026年7月8日,2025年度国家科学技术奖励大会举行,上海68项成果及人选获国家科技奖。其中,同济大学牵头研发的《量子化光晶格常数的纳米计量关键技术及集成电路应用》项目荣获国家科技进步一等奖。

依托国际单位制量子化革新契机,同济大学程鑫彬教授团队耗时20余年,创新量子化光晶格纳米计量技术,研制出纳米长度、角度国家级标准物质,相当于给芯片行业造出一把高精度 “标准标尺”,为纳米生产设备校准提供核心依据。

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同济大学精密光学工程技术研究所光学纳米计量与测试实验室,程鑫彬教授团队20余年铸就“纳米标尺”。

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同济大学科研人员根据需要自行制造实验设备,利用基于量子化光晶格常数制造纳米标尺的精密装置开展“纳米标尺”研究。

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针对我国纳米计量领域存在的核心问题,团队研制出5项国家一级标准物质、直接溯源型计量仪器和晶圆级标准片,建立了具有完全自主知识产权的扁平化纳米计量技术,为集成电路等纳米制造领域提供了校准与标定用的“精准标尺”。

链接:https://www.shobserver.cn/staticsg/res/html/web/newsDetail.html?id=1141417

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